在陶瓷片上加上兩個電極，電極間施加高頻高壓的電源，使兩電極之間擊穿放電，使空氣中的氧分子獲得能量而結合生成臭氧。此方法雖然臭氧產(chǎn)量高，但陶瓷片制作困難，一般要從日本進口，成本高，再加上陶瓷片工作時發(fā)熱大，要配合風機強制擴散臭氧及散熱，所以比較少在消毒柜上采用。